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Cu/,Ni/4H-SiC Schottky势垒的退火研究

杨伟锋 杨克勤 陈厦平 张峰 王良均 吴正云

半导体学报2005,Vol.26Issue(z1):277-280,4.
半导体学报2005,Vol.26Issue(z1):277-280,4.

Cu/,Ni/4H-SiC Schottky势垒的退火研究

Anealing Effect on Cu/, Ni/4H-SiC Schottky Barrier

杨伟锋 1杨克勤 1陈厦平 1张峰 1王良均 1吴正云1

作者信息

  • 1. 厦门大学物理系,厦门,361005
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摘要

关键词

4H-SiC/Schottky势垒高度/退火

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨伟锋,杨克勤,陈厦平,张峰,王良均,吴正云..Cu/,Ni/4H-SiC Schottky势垒的退火研究[J].半导体学报,2005,26(z1):277-280,4.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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