半导体学报2004，Vol.25Issue(3)：279-283,5.
MOCVD生长的InGaN薄膜中的相分离
Phase Seperation of InGaN Films Grown by MOCVD
摘要
关键词
相分离/InGaN/InN/XRD/MOCVD分类
通用工业技术引用本文复制引用
陆曙,童玉珍,陈志忠,秦志新,于彤军,胡晓东,张国义..MOCVD生长的InGaN薄膜中的相分离[J].半导体学报,2004,25(3):279-283,5.基金项目
国家高技术研究发展计划(编号:2001AA313110)及国家自然科学基金(批准号:60276010)资助项目 （编号:2001AA313110）
