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低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真

谢兴军 单红 苏伟

信息与电子工程2003,Vol.1Issue(4):281-283,3.
信息与电子工程2003,Vol.1Issue(4):281-283,3.

低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真

Theoretical Analysis and Simulation on a Low Voltage Actuated Microwave MEMS Switch

谢兴军 1单红 2苏伟1

作者信息

  • 1. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
  • 2. 重庆大学,通信工程学院,重庆,400044
  • 折叠

摘要

关键词

自动控制技术/微机械开关/仿真/激励电压/推拉结构

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谢兴军,单红,苏伟..低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真[J].信息与电子工程,2003,1(4):281-283,3.

信息与电子工程

2095-4980

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