信息与电子工程2003,Vol.1Issue(4):281-283,3.
低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真
Theoretical Analysis and Simulation on a Low Voltage Actuated Microwave MEMS Switch
谢兴军 1单红 2苏伟1
作者信息
- 1. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
- 2. 重庆大学,通信工程学院,重庆,400044
- 折叠
摘要
关键词
自动控制技术/微机械开关/仿真/激励电压/推拉结构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
谢兴军,单红,苏伟..低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真[J].信息与电子工程,2003,1(4):281-283,3.