中国计量学院学报2006，Vol.17Issue(4)：281-283,3.
用迈克尔逊干涉仪测微定位工作台的位移
Displacement of micropositioning table combined with Michelson interferometer
姜坤 1朱若谷1
作者信息
- 1. 中国计量学院,计量技术工程学院,浙江,杭州,310018
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摘要
关键词
迈克尔逊干涉/压电陶瓷驱动器/微定位工作台分类
机械制造引用本文复制引用
姜坤,朱若谷..用迈克尔逊干涉仪测微定位工作台的位移[J].中国计量学院学报,2006,17(4):281-283,3.
