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微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析

江胜峰 金仁成 唐祯安 张凤田 高仁璟

中国机械工程2005,Vol.16Issue(z1):281-284,4.
中国机械工程2005,Vol.16Issue(z1):281-284,4.

微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析

Design and Analysis of Test Circuits for Thermal Gas Pressure Microsensors

江胜峰 1金仁成 1唐祯安 1张凤田 1高仁璟1

作者信息

  • 1. 大连理工大学,大连,116024
  • 折叠

摘要

关键词

微加热式微气压传感器/恒温/测试电路/加热电阻

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

江胜峰,金仁成,唐祯安,张凤田,高仁璟..微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析[J].中国机械工程,2005,16(z1):281-284,4.

基金项目

国家自然科学基金资助重点项目(90207003) (90207003)

中国机械工程

OA北大核心CSCD

1004-132X

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