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ZrO2薄膜的SPEB分析

娄彦良 肖文凯

郑州工业大学学报(自然科学版)2001，Vol.22Issue(2)：28-29,2.
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郑州工业大学学报(自然科学版)2001，Vol.22Issue(2)：28-29,2.

ZrO2薄膜的SPEB分析

SPEB Analysis of the ZrO2 Thin Film

娄彦良 1肖文凯2

作者信息

  • 1. 华中科技大学材料科学与工程学院,
  • 2. 武汉大学机械工程系,
  • 折叠

摘要

关键词

氧化锆薄膜/慢正电子束/成分

分类

数理科学

引用本文复制引用

娄彦良,肖文凯..ZrO2薄膜的SPEB分析[J].郑州工业大学学报(自然科学版),2001,22(2):28-29,2.

郑州工业大学学报(自然科学版)

OACSCD

1671-6833

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