类金刚石薄膜对多孔硅发光的钝化作用OA北大核心CSCDCSTPCD
PASSIVATION EFFECT OF DIAMOND-LIKE CARBON FILM ON PL OF POROUS SILICON
介绍了类金刚石薄膜对多孔硅发光的钝化作用.类金刚石薄膜隔绝了外界对多孔硅表面的影响,使硅氢键不易断裂,从而减少了非辐射复合中心,稳定了多孔硅的发光性能.通过在类金刚石薄膜中掺氮还可以进一步提高钝化效果,因为氮使多孔硅表面更多的悬空键被钝化形成Si-N键,从而提高了发光强度.
范轶敏;居建华;张伟丽;夏义本;王志明;方志军;王林军
上海大学材料科学与工程学院,上海,201800上海大学材料科学与工程学院,上海,201800上海大学材料科学与工程学院,上海,201800上海大学材料科学与工程学院,上海,201800上海大学材料科学与工程学院,上海,201800上海大学材料科学与工程学院,上海,201800上海大学材料科学与工程学院,上海,201800
信息技术与安全科学
多孔硅类金刚石薄膜钝化
《红外与毫米波学报》 2002 (z1)
28-30,3
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