材料工程Issue(z1)：28-30,3.
磁头表面超薄DLC保护层厚度测量研究
Investigation on Thickness of Ultra-thin Carbon Protective Coatings on Slider Surface
张化宇 1谢小强 1施元 1李山丹 2刘义为2
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001
- 2. 东莞新科材料科学实验室,广东,东莞,523087
- 折叠
摘要
关键词
超薄类金刚石/厚度/XPS/AES/TEM分类
通用工业技术引用本文复制引用
张化宇,谢小强,施元,李山丹,刘义为..磁头表面超薄DLC保护层厚度测量研究[J].材料工程,2006,(z1):28-30,3.
