激光技术2006，Vol.30Issue(3)：283-285,3.
高精度数字式光学膜厚监控系统
High precision digital optical monitor
鞠兵 1马孜 2蔡邦维1
作者信息
- 1. 四川大学,电子信息学院,成都,610064
- 2. 西南技术物理研究所,成都,610041
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摘要
关键词
薄膜/光学膜厚监控/数字式锁相放大器/精度/信噪比分类
数理科学引用本文复制引用
鞠兵,马孜,蔡邦维..高精度数字式光学膜厚监控系统[J].激光技术,2006,30(3):283-285,3.
