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W/B4C、W/C、W/Si多层膜的研究

王风丽 王占山 张众 吴文娟 王洪昌 张淑敏 秦树基 陈玲燕

光学精密工程2005,Vol.13Issue(1):28-33,6.
光学精密工程2005,Vol.13Issue(1):28-33,6.

W/B4C、W/C、W/Si多层膜的研究

W/B4C、W/C、W/Si multilayers

王风丽 1王占山 1张众 1吴文娟 1王洪昌 1张淑敏 1秦树基 1陈玲燕1

作者信息

  • 1. 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
  • 折叠

摘要

关键词

多层膜/X射线衍射仪/同步辐射/透射电镜

分类

数理科学

引用本文复制引用

王风丽,王占山,张众,吴文娟,王洪昌,张淑敏,秦树基,陈玲燕..W/B4C、W/C、W/Si多层膜的研究[J].光学精密工程,2005,13(1):28-33,6.

基金项目

国家自然科学基金资助(No.10435050, 60378021)和863-804-7资助项目 (No.10435050, 60378021)

光学精密工程

OA北大核心CSCD

1004-924X

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