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低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究

王刚 杨柏梁 赵超 刘宏宇 黄锡珉

液晶与显示2000，Vol.15Issue(1)：28-34,7.
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液晶与显示2000，Vol.15Issue(1)：28-34,7.

低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究

Preparation and Research of α-Ta Gate Electro with Low Resistivity

王刚 1杨柏梁 1赵超 2刘宏宇 2黄锡珉1

作者信息

  • 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,北方液晶工程研究开发中心,吉林长春,130021
  • 2. 吉林大学,电子工程系,吉林长春,130021
  • 折叠

摘要

关键词

α-Ta/直流磁控溅射/x射线衍射/方块电阻

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王刚,杨柏梁,赵超,刘宏宇,黄锡珉..低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究[J].液晶与显示,2000,15(1):28-34,7.

基金项目

中国科学院"九五"重大项目(KY951-A1-502)和吉林省科委"九五"科技攻关项目(9701103-01)资助 （KY951-A1-502）

液晶与显示

OACSCD

1007-2780

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