发光学报2003，Vol.24Issue(3)：284-288,5.
氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜
High Quality ZnO Thin Films Prepared by O2 and Ar Plasma-assisted E-beam Evaporation
摘要
关键词
等离子辅助/电子束蒸发/光致发光/热氧化分类
数理科学引用本文复制引用
汤庆鑫,路丽霞,齐秀英,钟殿强,初国强,刘益春..氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜[J].发光学报,2003,24(3):284-288,5.基金项目
中国科学院百人计划资助项目 （）
