半导体学报2003，Vol.24Issue(3)：284-289,6.
在柔性衬底上制备的非晶硅薄膜力学性能研究
Fabrication Method and Mechanics Behaviors of A Novel Flexible Amorphous Hydrogenated Silicon Film
摘要
关键词
氢化非晶硅薄膜/柔性衬底/PECVD/喇曼/扫描电子显微镜/力学性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
丁天怀,王鹏,徐峰..在柔性衬底上制备的非晶硅薄膜力学性能研究[J].半导体学报,2003,24(3):284-289,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:50175056) （批准号:50175056）
