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半导体学报
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稀土Er离子注入InP的退火及发光特性
稀土Er离子注入InP的退火及发光特性
章蓓
陈孔军
王舒民
丁晓民
虞丽生
郑婉华
徐俊英
李仪
半导体学报
Issue(4)：285,1.
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半导体学报
Issue(4)
：285,1.
稀土Er离子注入InP的退火及发光特性
章蓓
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陈孔军
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王舒民
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丁晓民
1
虞丽生
1
郑婉华
1
徐俊英
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李仪
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摘要
关键词
磷化铟
/
稀土元素
/
离子注入
/
发光
分类
信息技术与安全科学
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章蓓,陈孔军,王舒民,丁晓民,虞丽生,郑婉华,徐俊英,李仪..稀土Er离子注入InP的退火及发光特性[J].半导体学报,1994,(4):285,1.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
1674-4926
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