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金刚石薄膜的结构特征对薄膜附着性能的影响

马丙现 姚宁 贾瑜 杨仕娥 鲁占灵 樊志琴 张兵临

物理学报2005,Vol.54Issue(6):2853-2858,6.
物理学报2005,Vol.54Issue(6):2853-2858,6.

金刚石薄膜的结构特征对薄膜附着性能的影响

Influence of structure on adhesion of grains in CVD diamond films

马丙现 1姚宁 1贾瑜 1杨仕娥 1鲁占灵 1樊志琴 1张兵临1

作者信息

  • 1. 郑州大学物理工程学院,郑州大学教育部材料物理重点实验室,郑州,450052
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摘要

关键词

金刚石薄膜/附着性能/sp2杂化碳/成核密度/薄膜厚度

分类

数理科学

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马丙现,姚宁,贾瑜,杨仕娥,鲁占灵,樊志琴,张兵临..金刚石薄膜的结构特征对薄膜附着性能的影响[J].物理学报,2005,54(6):2853-2858,6.

基金项目

河南省教育厅自然科学基金和河南省自然科学基金资助项目 ()

物理学报

OA北大核心CSCDSCI

1000-3290

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