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He+离子注入LiNbO3晶体波导的制备及其性能研究

卓壮

量子电子学Issue(3):286,1.
量子电子学Issue(3):286,1.

He+离子注入LiNbO3晶体波导的制备及其性能研究

卓壮1

作者信息

  • 1. 不详;不详
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摘要

关键词

折射率分布/射程分布/集成光路/离子注入法

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

卓壮..He+离子注入LiNbO3晶体波导的制备及其性能研究[J].量子电子学,1996,(3):286,1.

量子电子学

OA北大核心CSCD

1007-5461

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