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一种热驱动微型电场传感器设计与仿真

叶超 龚超 陈贤祥 彭春荣 陈绍凤 夏善红

中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：287-288,292,3.
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中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：287-288,292,3.

一种热驱动微型电场传感器设计与仿真

Design and Simulation of a Thermal Driven Miniature Electric Field Sensor

叶超 1龚超 2陈贤祥 1彭春荣 2陈绍凤 1夏善红2

作者信息

  • 1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100080
  • 折叠

摘要

关键词

热驱动/微型/电场传感器/仿真

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

叶超,龚超,陈贤祥,彭春荣,陈绍凤,夏善红..一种热驱动微型电场传感器设计与仿真[J].中国机械工程,2005,16(z1):287-288,292,3.

基金项目

国家863高技术研究发展计划资助重大项目(2004AA404030) （2004AA404030）

中国机械工程

OA北大核心CSCD

1004-132X

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