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分子束外延HgCdTe材料生长参数的实时监测研究

王善力 于梅芳 乔怡敏 杨建荣 巫艳 袁诗鑫 何力

红外与毫米波学报1998，Vol.17Issue(4)：287-291,5.
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红外与毫米波学报1998，Vol.17Issue(4)：287-291,5.

分子束外延HgCdTe材料生长参数的实时监测研究

REAL-TIME MONITORING OF GROWTH PARAMETERS OF MBE GROWN HgCdTe

王善力 1于梅芳 1乔怡敏 1杨建荣 1巫艳 1袁诗鑫 1何力1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所半导体薄膜材料研究中心及红外物理国家重点实验室,上海,200083
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摘要

关键词

分子束外延/HgCdTe/实时监测/椭圆偏振/红外辐射测温

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王善力,于梅芳,乔怡敏,杨建荣,巫艳,袁诗鑫,何力..分子束外延HgCdTe材料生长参数的实时监测研究[J].红外与毫米波学报,1998,17(4):287-291,5.

基金项目

国家杰出青年科学基金(69325002)、上海市科学研究基金资助项目 （69325002）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDSCI

1001-9014

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