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不同晶面蓝宝石和氧源对ZnO薄膜生长的影响

张攀峰 魏鸿源 范海波 丛光伟 杨少延 朱勤生 刘祥林

半导体学报2007,Vol.28Issue(z1):289-292,4.
半导体学报2007,Vol.28Issue(z1):289-292,4.

不同晶面蓝宝石和氧源对ZnO薄膜生长的影响

Effect of Different Facets of Sapphire and Oxidizers on the Growth of ZnO Films

张攀峰 1魏鸿源 1范海波 1丛光伟 1杨少延 1朱勤生 1刘祥林1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,材料重点实验室,北京,100083
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摘要

关键词

ZnO/蓝宝石/甲醇/XRD/SEM

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张攀峰,魏鸿源,范海波,丛光伟,杨少延,朱勤生,刘祥林..不同晶面蓝宝石和氧源对ZnO薄膜生长的影响[J].半导体学报,2007,28(z1):289-292,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(批准号:60376013,60506002) (批准号:60376013,60506002)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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