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SiOxNy薄膜的微观结构与新的电流传输机理模型

杨炳良 刘百勇 陈斗南 郑耀宗

物理学报Issue(2)：289-296,8.
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物理学报Issue(2)：289-296,8.

SiOxNy薄膜的微观结构与新的电流传输机理模型

杨炳良 1刘百勇 1陈斗南 1郑耀宗1

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杨炳良,刘百勇,陈斗南,郑耀宗..SiOxNy薄膜的微观结构与新的电流传输机理模型[J].物理学报,1991,(2):289-296,8.

物理学报

OACSCD

1000-3290

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