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激光等离子体淀积硅膜

傅广生 韩理 李晓苇 张连水 董丽芳 吕福润 薛春银

物理学报Issue(3)：293-300,293a,293b,10.
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物理学报Issue(3)：293-300,293a,293b,10.

激光等离子体淀积硅膜

傅广生 1韩理 1李晓苇 1张连水 1董丽芳 1吕福润 1薛春银1

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傅广生,韩理,李晓苇,张连水,董丽芳,吕福润,薛春银..激光等离子体淀积硅膜[J].物理学报,1987,(3):293-300,293a,293b,10.

物理学报

1000-3290

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