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自对准外延CoSi2源漏接触CMOS器件技术

邵凯 李炳宗 邹斯洵 黄维宁 吴卫军 房华 於伟峰 姜国宝 俞波 张敏

半导体学报Issue(4)：294,1.
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半导体学报Issue(4)：294,1.

自对准外延CoSi2源漏接触CMOS器件技术

邵凯 1李炳宗 1邹斯洵 2黄维宁 2吴卫军 2房华 2於伟峰 2姜国宝 2俞波 2张敏2

作者信息

  • 1. 复旦大学电子工程系
  • 折叠

摘要

关键词

CMOS器件/外延生长/CoSi2

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

邵凯,李炳宗,邹斯洵,黄维宁,吴卫军,房华,於伟峰,姜国宝,俞波,张敏..自对准外延CoSi2源漏接触CMOS器件技术[J].半导体学报,1996,(4):294,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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