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热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量

周斌 赖珍荃 徐平 沈军 邓忠生 吴广明 张勤远 王珏

原子能科学技术1999,Vol.33Issue(4):294-296,3.
原子能科学技术1999,Vol.33Issue(4):294-296,3.

热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量

MEASUREMENT OF Al THIN FOIL PERTURBATION TARGET PREPARED BY EVAPORATION

周斌 1赖珍荃 1徐平 1沈军 1邓忠生 1吴广明 1张勤远 1王珏1

作者信息

  • 1. 同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092
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摘要

关键词

Al平面薄膜靶/自支撑/热蒸发/微结构

分类

数理科学

引用本文复制引用

周斌,赖珍荃,徐平,沈军,邓忠生,吴广明,张勤远,王珏..热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量[J].原子能科学技术,1999,33(4):294-296,3.

原子能科学技术

OA北大核心CSCD

1000-6931

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