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CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌

田珂 施媛媛 徐小秋 钟声 傅竹西

发光学报2008,Vol.29Issue(2):294-298,5.
发光学报2008,Vol.29Issue(2):294-298,5.

CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌

The Investigation of Growth Orientations of ZnO Films by CVD

田珂 1施媛媛 1徐小秋 1钟声 1傅竹西1

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026
  • 折叠

摘要

关键词

CVD/ZnO薄膜/生长取向/生长机理

分类

数理科学

引用本文复制引用

田珂,施媛媛,徐小秋,钟声,傅竹西..CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌[J].发光学报,2008,29(2):294-298,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50532070,50472009,10474091) (50532070,50472009,10474091)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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