发光学报2008,Vol.29Issue(2):294-298,5.
CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌
The Investigation of Growth Orientations of ZnO Films by CVD
摘要
关键词
CVD/ZnO薄膜/生长取向/生长机理分类
数理科学引用本文复制引用
田珂,施媛媛,徐小秋,钟声,傅竹西..CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌[J].发光学报,2008,29(2):294-298,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50532070,50472009,10474091) (50532070,50472009,10474091)