测试技术学报2007,Vol.21Issue(4):295-300,6.
基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究
Research on a Precision Positioning Stage Based on Piezoelectric Actuators
摘要
关键词
精密定位/压电驱动/柔性较链/模糊自整定/实验修正分类
机械制造引用本文复制引用
王华,张宪民,邓俊广..基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究[J].测试技术学报,2007,21(4):295-300,6.基金项目
国家自然科学基金项目(50375051) (50375051)
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教育部科学技术重点项目(104149) (104149)
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广州市科技攻关项目(053J208001)资助 (053J208001)