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基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究

王华 张宪民 邓俊广

测试技术学报2007,Vol.21Issue(4):295-300,6.
测试技术学报2007,Vol.21Issue(4):295-300,6.

基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究

Research on a Precision Positioning Stage Based on Piezoelectric Actuators

王华 1张宪民 1邓俊广1

作者信息

  • 1. 华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640
  • 折叠

摘要

关键词

精密定位/压电驱动/柔性较链/模糊自整定/实验修正

分类

机械制造

引用本文复制引用

王华,张宪民,邓俊广..基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究[J].测试技术学报,2007,21(4):295-300,6.

基金项目

国家自然科学基金项目(50375051) (50375051)

高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划 ()

广东省自然科学基金项目(05006494) (05006494)

教育部科学技术重点项目(104149) (104149)

广东省科技攻关项目(2004B10201026) (2004B10201026)

广州市科技攻关项目(053J208001)资助 (053J208001)

测试技术学报

OACSTPCD

1671-7449

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