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硅晶体中点缺陷结合过程的分子动力学模拟

王慧娟 陈成 邓联文 江建军

材料科学与工程学报2007,Vol.25Issue(2):298-300,3.
材料科学与工程学报2007,Vol.25Issue(2):298-300,3.

硅晶体中点缺陷结合过程的分子动力学模拟

Molecular Dynamics Simulation on Vacancy-interstitial Annihilation in Silicon

王慧娟 1陈成 1邓联文 1江建军1

作者信息

  • 1. 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074
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摘要

关键词

分子动力学模拟/点缺陷/扩散

分类

数理科学

引用本文复制引用

王慧娟,陈成,邓联文,江建军..硅晶体中点缺陷结合过程的分子动力学模拟[J].材料科学与工程学报,2007,25(2):298-300,3.

材料科学与工程学报

OACSCDCSTPCD

1673-2812

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