光学精密工程2004，Vol.12Issue(3)：298-304,7.
基于腔结构的射频微机械谐振元件的设计
Design of RF MEMS resonator components based on cavity structure
摘要
关键词
微机械谐振器/腔结构/微细加工技术/微机械设计分类
机械制造引用本文复制引用
李应良,潘武..基于腔结构的射频微机械谐振元件的设计[J].光学精密工程,2004,12(3):298-304,7.基金项目
重庆市教委科学技术研究项目(D2002-26) （D2002-26）
重庆邮电学院博士科研基金项目(A2002-36) （A2002-36）
