计量学报2005，Vol.26Issue(4)：299-303,5.
利用频闪成像方法进行微机电系统的计量
MEMS Measurement Using Strobed Imaging
摘要
关键词
计量学/微机电系统/频闪成像/同步控制/运动表征分类
通用工业技术引用本文复制引用
郭彤,胡春光,胡晓东,栗大超,陈津平,傅星,胡小唐..利用频闪成像方法进行微机电系统的计量[J].计量学报,2005,26(4):299-303,5.基金项目
国家863计划(2004AA404042) （2004AA404042）
