发光学报2008，Vol.29Issue(2)：299-303,5.
射频辅助N掺杂ZnO薄膜的生长及其光电特性
Studies on the Growth and Photoelectric-properties of RF-assisted N Doped ZnO Films
摘要
关键词
金属有机化学气相沉积/射频辅助/N离化/N-Al共掺杂分类
数理科学引用本文复制引用
苏剑峰,姚然,钟泽,傅竹西..射频辅助N掺杂ZnO薄膜的生长及其光电特性[J].发光学报,2008,29(2):299-303,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50532070,50472009,10474091) （50532070,50472009,10474091）
