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改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究

周顺 张燕娥 蔡体菁 周百令 王寿荣

东南大学学报（自然科学版）1999，Vol.29Issue(4)：30,1.
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东南大学学报（自然科学版）1999，Vol.29Issue(4)：30,1.

改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究

周顺 1张燕娥 1蔡体菁 2周百令 2王寿荣2

作者信息

  • 1. 东南大学仪器科学与工程系
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摘要

关键词

微机械陀螺仪/梳状电极驱动/振动轮式/硅/悬浮力

分类

交通工程

引用本文复制引用

周顺,张燕娥,蔡体菁,周百令,王寿荣..改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究[J].东南大学学报（自然科学版）,1999,29(4):30,1.

东南大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCD

1001-0505

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