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水平式矩形硅外延系统的计算机模拟

梁骏吾 郭予龙 杨辉

电子学报Issue(3)：30,1.
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电子学报Issue(3)：30,1.

水平式矩形硅外延系统的计算机模拟

梁骏吾 1郭予龙 1杨辉1

作者信息

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摘要

关键词

硅/外延生长/计算机模拟

分类

信息技术与安全科学

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梁骏吾,郭予龙,杨辉..水平式矩形硅外延系统的计算机模拟[J].电子学报,1991,(3):30,1.

电子学报

OACSCD

0372-2112

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