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热丝CVD方法生长金刚石薄膜中石墨成份控制

杨国伟

高压物理学报Issue(4)：301,1.
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高压物理学报Issue(4)：301,1.

热丝CVD方法生长金刚石薄膜中石墨成份控制

杨国伟1

作者信息

  • 1. 不详;不详
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摘要

关键词

热丝/金刚石/薄膜/石墨/汽相生长

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨国伟..热丝CVD方法生长金刚石薄膜中石墨成份控制[J].高压物理学报,1993,(4):301,1.

高压物理学报

OA北大核心CSCD

1000-5773

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