高质量简谐振子的研制

马广鹏陈才和唐东林崔宇明

传感技术学报2006，Vol.19Issue(2)：301-304,4.

Research and Fabrication of Harmonic Oscillator with High Quality

马广鹏 ¹陈才和 ¹唐东林 ¹崔宇明¹

作者信息

MOEMS/简谐振子/优化设计/各向异性腐蚀

数理科学

马广鹏,陈才和,唐东林,崔宇明..高质量简谐振子的研制[J].传感技术学报,2006,19(2):301-304,4.

国家自然科学基金"光电集成加速度地震检波技术理论与试验研究"项目资助(40274047) （40274047）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-1699

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