计量学报2007，Vol.28Issue(4)：302-305,4.
利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征
Five-frame Phase-shifting Algorithm for Nanoscale Step Characterization
摘要
关键词
计量学/纳米计量/台阶标准/相移干涉术/Hariharan算法/软件调平分类
通用工业技术引用本文复制引用
郭彤,胡春光,陈津平,傅星,胡小唐..利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征[J].计量学报,2007,28(4):302-305,4.基金项目
国家863计划(2006AA04Z327) （2006AA04Z327）
教育部高校博士点基金(20060056003) （20060056003）
精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金 （）
