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显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用

孙伟 刘雯雯 康新 何小元

计量学报2009，Vol.30Issue(4)：302-306,5.
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计量学报2009，Vol.30Issue(4)：302-306,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2009.04.002

显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用

Measurement of 3-D Profile of MEMS Structure with Microscopic Interferometry

孙伟 1刘雯雯 2康新 3何小元2

作者信息

  • 1. 南京航空航天大学航空宇航学院,江苏,南京,210016
  • 2. 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
  • 3. 南京理工大学理学院,江苏,南京,210094
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/显微干涉法/微机电系统/三维形貌/微梁/手机芯片

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

孙伟,刘雯雯,康新,何小元..显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用[J].计量学报,2009,30(4):302-306,5.

基金项目

国家自然科学基金(10772086,10727201) （10772086,10727201）

国家重点基础研究专项经费(2006CB300404) （2006CB300404）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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