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椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用

金承钰

现代科学仪器Issue(2)：30-31,2.
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现代科学仪器Issue(2)：30-31,2.

椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用

Application of Ellipsometer in the Field of Nano-measurement

金承钰1

作者信息

  • 1. 上海交通大学分析测试中心,上海,200030
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摘要

关键词

椭圆偏振仪/光学梯度膜/多层膜/膜厚/光学常数

分类

数理科学

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金承钰..椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用[J].现代科学仪器,2003,(2):30-31,2.

现代科学仪器

OACSTPCD

1003-8892

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