真空电子技术Issue(2)：30-33,4.
SED的磁控溅射法制作技术试验研究
Research on SED Fabrication with Magnetron Sputtering
孙宏博 1吴胜利 1张劲涛1
作者信息
- 1. 西安交通大学,电子物理与器件教育部重点实验室,陕西,西安,710049
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摘要
关键词
表面传导电子发射显示器/磁控溅射/导电膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙宏博,吴胜利,张劲涛..SED的磁控溅射法制作技术试验研究[J].真空电子技术,2008,(2):30-33,4.
