红外技术2002，Vol.24Issue(1)：30-33,4.
热处理和淬火影响GaAs中EL2浓度机理的研究
Study on Mechanism of Efects on El2 in GaAs by Annealing and Quenching
摘要
关键词
半绝缘砷化镓/热处理/淬火/EL2浓度/砷沉淀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘力锋,杨瑞霞,郭惠..热处理和淬火影响GaAs中EL2浓度机理的研究[J].红外技术,2002,24(1):30-33,4.基金项目
河北省自然科学基金资助项目(195051) （195051）
