电子器件2005，Vol.28Issue(1)：30-34,5.
NEMS谐振器的研究与分析
Research and Analysis of NEMS Resonators
宋达 1刘文平 2李铁 2李昕欣 2王跃林1
作者信息
- 1. 浙江大学信息与电子工程学系,杭州,310027
- 2. 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室,上海,200050
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摘要
关键词
NEMS/纳米技术/谐振器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋达,刘文平,李铁,李昕欣,王跃林..NEMS谐振器的研究与分析[J].电子器件,2005,28(1):30-34,5.
