电子学报2005，Vol.33Issue(2)：304-307,4.
亚100纳米级标准单元的可制造性设计
Design for Manufacturability of Sub-100 Nanometer Standard Cells
摘要
关键词
标准单元/可制造性设计/分辨率增强技术分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张培勇,严晓浪,史峥,高根生,马玥,陈晔..亚100纳米级标准单元的可制造性设计[J].电子学报,2005,33(2):304-307,4.基金项目
国家自然科学基金(No.60176015,No.90207002) （No.60176015,No.90207002）
863高技术计划(No.2002AA1Z1460,No.2003AA1Z1370) （No.2002AA1Z1460,No.2003AA1Z1370）
