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磁控溅射CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系

李俊杰 王欣 卞海蛟 郑伟涛 吕宪义 金曾孙 孙龙

发光学报2003，Vol.24Issue(3)：305-308,4.
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发光学报2003，Vol.24Issue(3)：305-308,4.

磁控溅射CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系

Relations of Substrate Bias and Adhesion, Roughness of Carbon Nitride Films Synthesized by Magnetron Sputtering

李俊杰 1王欣 2卞海蛟 1郑伟涛 1吕宪义 1金曾孙 1孙龙1

作者信息

  • 1. 吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林大学,材料科学系,吉林,长春,130023
  • 2. 延边大学,理工学院物理系,吉林,延吉,133002
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摘要

关键词

CNx薄膜/粗糙度/附着力/衬底偏压

分类

数理科学

引用本文复制引用

李俊杰,王欣,卞海蛟,郑伟涛,吕宪义,金曾孙,孙龙..磁控溅射CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系[J].发光学报,2003,24(3):305-308,4.

基金项目

教育部和吉林省科学技术委员会基金资助项目 （）

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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