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MOCVD法生长ZnO薄膜的结构及光学特性

马艳 杜国同 杨天鹏 李万程 张源涛 刘大力 姜秀英

发光学报2004,Vol.25Issue(3):305-308,4.
发光学报2004,Vol.25Issue(3):305-308,4.

MOCVD法生长ZnO薄膜的结构及光学特性

Structure and Optical Property of ZnO Thin Films Grown by MOCVD

马艳 1杜国同 2杨天鹏 1李万程 2张源涛 1刘大力 2姜秀英1

作者信息

  • 1. 吉林大学,电子科学与工程学院
  • 2. 集成光电子国家重点实验室,吉林,长春,130023
  • 折叠

摘要

关键词

ZnO薄膜/金属有机化学气相沉积/结构/光致发光光谱

分类

数理科学

引用本文复制引用

马艳,杜国同,杨天鹏,李万程,张源涛,刘大力,姜秀英..MOCVD法生长ZnO薄膜的结构及光学特性[J].发光学报,2004,25(3):305-308,4.

基金项目

国家自然科学基金(59910161983,60177007,60176026) (59910161983,60177007,60176026)

国家"863"计划(2002AA311130)资助项目 (2002AA311130)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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