中国机械工程Issue(z1)：306-309,4.
基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统
Dynamic Stress Measurement System of MEMS Based on Raman Spectroscopy
摘要
关键词
动态应力/MEMS/拉曼光谱仪/高频调制/测试系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郑丽娜,薛晨阳,张文栋,张斌珍,桑胜波..基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统[J].中国机械工程,2006,(z1):306-309,4.基金项目
国家自然科学基金资助重点项目(50535030) （50535030）
电子测试技术国家级重点实验室开放基金资助项目 （）
微米纳米加工技术国家级重点实验室开放基金资助项目 （）
山西省归国留学人员基金资助项目. （）
