物理学报2000，Vol.49Issue(2)：306-311,6.
溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究
THE ON LINE SPECTRUM MEASUREMENT IN THE PREPARATION OF THIN FILM
刘隆鉴 1沈杰 2章壮健2
作者信息
- 1. 四川工业学院物理实验中心,成都,610039
- 2. 复旦大学材料科学系,上海,200433
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摘要
关键词
在线测量/溅射/成分/薄膜/厚度/光谱分类
数理科学引用本文复制引用
刘隆鉴,沈杰,章壮健..溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究[J].物理学报,2000,49(2):306-311,6.
