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光栅位移测量系统的误差自修正方法研究

江晓军 黄立华 黄惠杰 王向朝

计量学报2008,Vol.29Issue(4):309-312,4.
计量学报2008,Vol.29Issue(4):309-312,4.

光栅位移测量系统的误差自修正方法研究

An Automatic Error Correction Method for Grating Displacement Measurement System

江晓军 1黄立华 2黄惠杰 1王向朝2

作者信息

  • 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/光栅传感器/位移测量/误差修正

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

江晓军,黄立华,黄惠杰,王向朝..光栅位移测量系统的误差自修正方法研究[J].计量学报,2008,29(4):309-312,4.

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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