光学精密工程2000，Vol.8Issue(4)：309-315,7.
表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法
Methods of high resolution optical measurement for surface profile
王富生 1谭久彬1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001
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摘要
关键词
表面微观轮廓/光学测量方法/高分辨率分类
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王富生,谭久彬..表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法[J].光学精密工程,2000,8(4):309-315,7.
