物理学报2004，Vol.53Issue(9)：3099-3103,5.
丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究
Diamond-like carbon films deposited on optical glass substrate by using ECR microwave acetone plasma CVD method
摘要
关键词
类金刚石薄膜/ECR微波等离子体/丙酮气氛/红外光谱分类
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杨武保,王久丽,张谷令,范松华,刘赤子,杨思泽..丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究[J].物理学报,2004,53(9):3099-3103,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:50071068)资助的课题. （批准号:50071068）
