光学精密工程2005，Vol.13Issue(3)：311-317,7.
双腔薄膜阀压电泵的实验研究
Experimental research on double-chambered piezoelectric pump with membrane valves
摘要
关键词
双腔/薄膜阀/压电泵/实验测试分类
机械制造引用本文复制引用
曾平,程光明,刘九龙,孙晓锋,赵艳龙..双腔薄膜阀压电泵的实验研究[J].光学精密工程,2005,13(3):311-317,7.基金项目
国家863计划资助项目(No.3002AA431250) （No.3002AA431250）
国家自然科学基金资助项目(No.59975040) （No.59975040）
