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真空微电子器件的栅极制造技术

朱长纯 关辉 李天英

半导体学报Issue(4)：313,1.
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半导体学报Issue(4)：313,1.

真空微电子器件的栅极制造技术

朱长纯 1关辉 1李天英2

作者信息

  • 1. 西安交通大学真空微电子与微电子机械研究所
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摘要

关键词

真空微电子器件/栅极/制造

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱长纯,关辉,李天英..真空微电子器件的栅极制造技术[J].半导体学报,1996,(4):313,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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