机械与电子Issue(5)：31-32,2.
硅微电容式加速度计的闭环控制技术研究
Research of Silicon Micro-capacitive Accelerometer's Closed Loop Control Technique
摘要
关键词
电容式加速度计/闭环控制/线性度/带宽分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李燕,王玲,李洲,刘军..硅微电容式加速度计的闭环控制技术研究[J].机械与电子,2009,(5):31-32,2.基金项目
河南省科技攻关项目(082102210111) （082102210111）
